DTN系列高温氮气烘箱-智慧城市网

产品详情

● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤

● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N₂消耗量极低

● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响

● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节

● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收

● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置

● 工作温度 360℃ 和 500℃、洁净度100级、氧浓度低于 20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶 PI、PBO 固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等

免责声明：以上所展示的信息由企业自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责，智慧城市网对此不承担任何保证责任。

发布询价单

联系我时，请说明是在智慧城市网上看到的，谢谢

摘要:EVG610光刻机主要应用于半 [详细]

摘要:EVG620NT光刻机主要应用于 [详细]

摘要:EVG510是一款高效率的微结 [详细]

摘要:EVG520IS是一款高效的芯片 [详细]

摘要:EVG的805解键合系统是一种 [详细]

摘要:EVG620BA对准系统是EVG公司 [详细]

摘要:HP-150热板应用于光刻、MEM [详细]

摘要:HP-200热板应用于光刻、MEM [详细]

DTN系列 高温氮气烘箱