SENTECH-激光椭偏仪 - (SE 400adv)

亚埃精度

● 稳定的氦氖激光器保证了 0.1 埃精度的超薄单层薄膜厚度测量。

扩展激光椭偏仪的极限

● 性能优异的多角度手动角度计和角度精度*的激光椭偏仪允许测量单层薄膜和层叠膜的折射率、消光系数和膜厚。

高速测量

● 激光椭偏仪 SE 400adv 的高速测量速度使得用户可以监控单层薄膜的生长和终点检测，或做样品均匀性的自动扫描。

● 激光椭偏仪 SE 400adv 可用于从可选择的、应用特定的入射角度表征单层薄膜和基片。自动准直透镜确保在大多数平坦反射表面的吸收或透明衬底上进行准确测量。多角度测量的集成支持(40°—90°，5° 步进)，可用于确定层叠的厚度、折射率和消光系数。为了补偿激光椭偏测量中厚度测量的模糊性，厚度测量中也采用了多角度测量。

● 激光椭偏仪 SE 400adv，用于超薄单层薄膜的厚度测量。小型台式仪器由椭偏仪光学部件、角度计、样品台、自动准直透镜、氦氖激光光源和检测单元组成。激光椭偏仪 SE 400adv 的选项支持在微电子、光伏、数据存储、显示技术、生命科学、金属加工等领域的应用。