5:1 紫外制版镜头

　　光刻物镜是微电子生产投影式光刻机的核心部件，随着微电子生产工艺不断向微细化、集成化发展，对光刻镜头的要求越来越高。要求具有衍射极限的成像质量、高分辨力、大视场、小畸变，其性能直接决定了光刻机的图形传递能力。制造光刻镜头除了设计出一个成像完善的光学系统和精选优质的光学玻璃外，关键在于光学加工、结构设计装配以及相关的测试技术等。

物方视场:   21mm X 11 mm；

放大倍率:   5X (可微调 0.1%) 调整后锁紧；

像方尺寸:   105mm X 55 mm；

物方数值孔径:   0.25；

物像光路类型：物、像远心光路；

物方工作距离: > 30 mm；

像方工作距离: > 100 mm；

设计波长范围: 390~ 415 nm；

透过率: > 75% @ 350nm ~ 450nm；

所有视场内MTF: > 0.3 @ 600 lp/mm；

像方畸变:   0.005%；

要求物,像远心光路: 主光线倾角<2.5度；

放大倍率误差: 0.05%；

外径: < 125 mm；

透镜长度: < 260 mm；

两端螺纹为: M123X0.75 长度11mm；

                   M63X0.75 长度11mm；

镀增透膜波长范围: 350nm ~ 450nm；

物像共轭距: < 420 mm；