CGO-2-低温真空探针台

低温真空探针台产品介绍

低温真空探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

产品参数

腔体

样品台尺寸：CGO-2/CGO-4

观察窗口：2英寸/4英寸

制冷方式：液氮 、液氦/制冷机

控制方式：开循环手动/闭循环自动控制

温度范围：77K~450K、4.5K~450K/4.5K~450K

样品固定：弹簧压片

其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

显微镜

X-Y-Z移动行程：50mmx25mmx13mm

接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口

探针

材质：钨钢/铍铜

真空组件：分子泵组/机械泵
冷源组件：50L/100L液氮罐/液氨罐/制冷机
外形重量：730mmx750mmx1265mm(长宽高)   约100kg

防震桌参数

防震桌类型：气浮隔振防震桌/阻尼隔振防震桌

隔振方式：空气弹簧隔振/高级复合材料隔振
材质：不锈钢 / 碳钢
平面度：0.05mm/m2
粗糙度：＜0.8μm

孔距：25×25mm
孔径：M6
平台尺寸(长宽)：可定制
平台厚度：50 / 100 / 200mm
固有频率：1.5Hz - 2Hz/6Hz - 8Hz
支撑腿：气浮支撑腿/阻尼支撑腿
支撑腿数量个：4个/6个
支撑腿高度：800mm±10mm
其他：内芯采用蜂窝支撑、表面密迪纹处理、支撑脚可选脚轮、特殊尺寸可定制