ARS 闭循环电磁铁探针台-智慧城市网

产品详情

美国ARS 公司的PS-CC闭循环探针台用于样品的非破坏性检测，测试灵活，可提供0.6T的水平磁场并配备双极电源。该设备广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。

该款探针台使用DE204、DE210或DE215系列冷头，整个测试过程中无需使用任何制冷剂（液氦/液氮）。可根据不同测试要求，选用不同型号冷头，以便样品温度到达13K、<10K、7K或 <4K。所有的ARS闭式循冷头均采用高制冷量的一级冷头，该设计可使系统快速降温并降低系统热负载。气动驱动GM冷头一级制冷量高，固有振动小，是该领域的理想选择。

该系统配有硬涂层铝制真空罩和高抛光的无氧铜防热辐射屏。高质的真空器件至关重要，可以使样品获得更高的真空环境，更洁净的表面，更好的电接触。

ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了该产品的稳定性能，也利于系统的诊断和服务。


上图展示了连接到真空室的4个探针。这是桌子的侧面，没有显示下面的制冷机。	上图展示了探针台内部的样品空间。

应用案例：

• 电磁特性

• 微波特性

• 低频，高频特性

• MEMS

• 纳米电子学

• 超导特性

• 纳米器件光电性能

• 量子点及纳米线

• 单电子

• 低电流物理特性

特点	备注
温度范围：< 7K-400K	其他温区可选
样品区0.6T水平磁场
样品区振动优于 1微米
12英寸×5英寸不锈钢真空室
5.5英寸 × 2.875英寸镀镍无氧铜防热辐射屏
1英寸方形镀金无氧铜样品台
高纯石英观察窗
蓝宝石防热辐射屏冷窗
多至4个三维微操作探针臂
可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂
控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器	温度计安装位置： 1、冷头温度计，用于诊断 2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温 3、样品温度计，用于精确测量样品温度 4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样
7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源	可升级16:1显微观察系统
规格及技术参数
制冷方式	闭循环制冷，无需液氦
温度范围	7K-400K （可选更高制冷量DE215冷头冷台温度 < 4K,安装高温隔热台高温度可达800K）
磁场范围	-0.6T至+0.6T
磁体型号	GMW5403EG 磁场方向水平方向极面76毫米水冷需求：2升/分钟，0.8bar 电源：双极型电源电压±20V 电流±40A 高斯计：LS475DSP 霍尔传感器LS HGCT-3020
温度稳定性	优于50mK
泵抽真空时间	机械泵约45分钟分子泵约10分钟
降温时间	约2.5小时至10K（DE204P冷头）
真空腔	无磁不锈钢真空腔 12英寸×5英寸上盖安装高纯石英窗口
防热辐射屏	镀镍无氧铜防热辐射屏 5.5英寸 × 2.875英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头
样品台	镀金无氧铜样品台 1英寸方形接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）
探针臂位移台	手动驱动不锈钢焊接波纹管连接 X方向（轴向）2英寸行程 Y方向（横向）1英寸行程（标准） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米
振动	三级减震，振动小于1微米
温度计安装	4个温度计，2套加热器 4个温度计位置： 1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温 1个DT-670B-SD温度计安装于样品台底部用于控温 1个DT-670B-SD温度计安装于冷头位置用于诊断 1个校准型CX-1070-CU-4L温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温 2套加热器位置： 1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温 1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温
显微观测系统	标准7:1显微镜 4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08 光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜 12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15 光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器
探针臂
直流/低频探针臂	微型同轴电缆接头：SMA或BNC 频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选）针尖半径： 0.5微米（其他半径可选）
GSG高频探针臂	0-40GHz 接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖 0-50GHz 接头：2.4 电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖 0-67GHz 接头：1.85 电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖
光纤探针臂	紫外/可见或可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米单模或多模