分子泵组

产品简介

    MPCS-100涡轮分子泵组可为物理吸附仪、化学吸附仪等多类仪器提供1×10-9Pa的极限真空度，无需单独配置分子泵控制器，并加入的真空监测与泵组工作调节装置

产品优势

1.无需单独购置控制器

2.涡轮分子泵的出入口压力值可监测

3.拥有前后级工作调节装置，避免前级泵反油对涡轮分子泵的影响

4.泵组的工作全部智能控制，无需人员介入

5.的法兰连接结构，有效提高入口气密性

仪器应用技术

1.的智能控制系统

    采用彼奥德研发团队提供的MPCS控制系统，通过对各关键点的压力及工作状态监控，有效的对泵组各部分工作状态进行调节和控制，并有效提高 

2.应用的法兰结构

    采用彼奥德研发团队提供的NF式法兰连接结构，有效提高气密性降低高真空下的漏率。

3.前级泵与涡轮分子泵配置调节装置

技术参数

1.极限真空：1×10-9Pa

2.前级泵抽速：采用I-PID技术可调

3.供电系统：与MPSC控制系统集成

4.控制系统：采用MPSC控制系统，可智能控制并有效协调前后级工作状态

硬件系统：

1.前级泵采用德莱宝双极旋片真空泵

2.分子泵采用德莱宝涡轮分子泵

3.配置高精度德莱宝压力传感器

4.配置NF法兰接口

5.配置MPSC控制主板