D07-19BM气体质量流量计-智慧城市网

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D07-19BM气体质量流量计,氮气硫化氢气体质量流量控制器

简介：

气体质量流量计适用于对气体质量进行精密测量。它将测量的气体质量流量转换为相应的标准状态下的气体体积流量或标准状态下的气体质量流量。

气体质量流量计具有低功耗、精度高、寿命长、重复性好、流量量程宽、稳定可靠等特点。用测试气体质量的方法对气体进行流量测量，目前在国内处于地位。

D07-19BM气体质量流量计,氮气硫化氢气体质量流量控制器主要特点：

★高精度，快响应型
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用DB15型电插头，标准机械接头
★兼容

用途:
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V

,氮气硫化氢气体质量流量控制器技术参数：

满量程流量范围(N₂)		5SCCM～30SLM
控制范围		2～100％F.S.
阀类型(及阀初始状态)		电磁调节阀(常闭)
准确度	≤10SLM	±1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
线性	≤10SLM	±0.5～1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
重复精度		±0.2％F.S.
响应时间		≤4sec
工作温度范围		5～45℃
工作压差	≤10SLM	0.1～0.5MPa
	＞10SLM	0.1～0.3MPa
耐压		3MPa
漏气率		1×10^-9SCCSHe
密封材料		氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
接头选择	VCR	1/4”或φ4hose、φ6hose
	Swagelok	1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
电插头形式		DB15 pin(Male)
抗电磁干扰		CE
重量		0.95Kg