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硅片晶体制绒清洗机

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更新时间:2024-09-20

有效日期:已过期

产品详情

产品功能:

◆炉前清洗:扩散前清洗。
◆光刻后清洗:除去光刻胶。
◆氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有污点。
◆抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的污点。
◆外延前清洗:除去埋层扩散后的SIO2及2表面污物。
◆合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。
◆离子注入后的清洗:除去光刻胶,SIO2层。
◆扩散预沉积后清洗:除去预沉积时的BSG和PSG。
◆CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。
◆附件及工具的清洗:除去表面所有的玷污物   


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        我公司以技术创新为核心竞争力,在自动化软件程序上,我们做了很多努力。花了很多时间。结合传统的老式自动化程序,我们攻克了多项行业中普遍存在的难点。并成功得到了行业协会的认可,成功申请了多项软件著作权。
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深圳市思泰宇科技有限公司

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主营产品:
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公司性质:
其他

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