超声显微镜检测系统

系统参数

● 扫查范围：300*300*100mm

● X/Y轴重复精度：±1 micron

● 检测速度：1000mm/s

● 电机类型：XY轴选用直线电机，Z轴选用步进电机

● 设备尺寸：1000*900*1750mm (宽*深*高)

● 带宽：5MHZ~300MHZ

● 增益范围：-11~70 dB，0.5 dB steps

● 脉冲重复频率:65KHz

● 阻尼：100, 50, 33,25 ohms

● 数字化频率：100M~2G at 8 bits

● 操作系统：Windows 10

● 存储空间：1T SSD and 5T HDD

软件功能

▶ 支持图像采集与全数据采集，可保存所有像素点的A扫描数据，单个文件可达16G，采样分辨率支持至0.01mm。

▶ 支持全数据回看及成像调整功能，具备A、B、C扫等多种显示模式，包含Peak、TOF、Mean等多种成像模式。

▶ 具备对像素格基于波幅/位置/灰度的基本缺陷识别。

▶ 具备相位检测功能，可自动识别分层类缺陷。

▶ 可根据用户的缺陷评定规则，开发高阶缺陷识别及测量工具，完成对规定型号产品缺陷的自动识别及测量。

检测实例