CYG502超微型压力传感器

标称尺寸外径2mm的超微型压力传感器CYG502是专为流体力学实验中要求更小安装尺寸的用途而设计的。是目前我公司推出产品中尺寸最小的压力传感器。

CYG502的压力敏感元件采用*的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度。离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。采用硅硅直接键合技术、倒V型槽设计、从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的化，把整个芯片尺寸缩小到1×1mm大小，而输出灵敏度仍可达到100kpa的量程，为超微型传感器的实现取得关键突破。

把传统设计中的硅–玻璃键合改为硅–硅键合，改善了热匹配效果，减少了应力带来的零位不稳定性。

目前已面市品种有绝压型测量模式产品，表压型正在研制中。

CYG502A绝压型超微型压力传感器为探针形，标准外径为Ф2.15mm，长度为18mm，传感器的可选量程为100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa压力。

CYG502A绝压传感器用敏感元件正面承压。因此，它仅适用于介质为无腐蚀性，不导电性的干燥气体。它有着相当宽的工作温区，可达-55℃～+120℃，也有着非常优秀的高频动态特性，其量程的敏感元件的固有频率＞200kHz，上升时间为亚微秒。

1、性能指标参数

2、满量程输出：  最小值30mv   典型值80mv   值130mv

3、输入输出阻抗：最小值3 kΩ  典型值5 kΩ  值7 kΩ

4、输入工作电流：1.5mA（表压型）1mA（绝压型）（恒流源）

5、工作温度范围：-55℃～+120℃

6、补偿温度范围：-10℃～+80℃

7、过载能力：    额定量程的200%

8、加速度灵敏度：＜0.001%FS/g

9、外形尺寸图：  CYG502A