真空机械手PHOENIX PLUS B系列-智慧城市网

产品详情

直驱电机结构具有更高的真空特性，内部结构没有齿轮，皮带等部件，系统运行的平稳性好，可靠性高。与PINUS B系列相比，将控制器集成到机械手本体之内，大大缩减了整体尺寸，并且缩短了互联线缆长度，可靠性得以提升。IO处理模块，可以根据用户需求配置输入输出数量，有效电平可以切换，用户可以根据需求将输出输入引脚配置成互锁、传感器检测等功能。输入信号支持硬件中断功能，方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。碰撞保护功能可以减少用户误操作导致的各种损失。以示教器作为人机交互媒介，方便调试人员使用。可以根据客户应用的特殊要求，定制手臂尺寸、耐高温耐腐蚀特性等。

参数：

本体重量Body Weight	50KG
适用晶圆尺寸Wafer Size	300mm/200mm/150mm/100mm
负载Payload	1KG
电源输入Power Supply	24 V DC, ±5%
节拍Bear	10.5 s(Pick+Rotate180°+Place，与手指材料、传输位置相关)
动态偏差纠正精度(AWC)	±0.1mm
重复定位精度Repeatability	Z: ±0.05mm（3σ）
	T: ±0.006°（3σ）
	R: ±0.05mm（3σ）
漏率Leak rate	< 1 x 10^-9 std. cc/sec He
真空度Base Pressure	5X10^-9Torr
适用温度 Applicable temperature	法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃
洁净度Clean Class	ISO CLASS1
MCBF	>11million cycles
复合运动 Compound motion	支持Support
PC远程操作软件	支持Support
通信接口Communications	Ethernet/串口serial interface
IO互锁IO interlock	支持Support
安全区Safe area	支持Support
碰撞保护 Collision protection	支持Support