供应
供应
产品详情
Diagram600晶圆传输平台，符合集成电路工艺精度和净化要求，并具有高精度、高效率、高洁净度和高可靠性，是链接物料搬运系统与硅片处理系统的桥梁，能够保证硅片在不受污染的条件下被准确安全的传输。在半导体前道设备中广泛应用，对设备可靠性要求高。灵活的本地化、可定制化服务，快速响应的售后服务，以及敦实的技术实力，是我们的主要竞争力。推动了国内半导体产业链的进步，有效的支撑了国内设备商的发展。
参数：
Item | Specification |
晶圆类型 Wafer types | SEMI standard silicon wafers |
晶圆尺寸Wafer Size | 100mm,150mm, 200mm |
定位标记 Alignment Mark | Notch & Flat |
厚度thickness | 150mm wafer: 0.675mm±10%; 200mm wafer: 0.75mm±10% |
Cassette类型 Cassette types | configurable for 150mm, 200mm SEMI Standard cassettes. |
传输平台 Transport Plane | 900 mm at VCE platform(SEMI-std) |
晶圆取放精度 Wafer placement repeatability | 0.2mm |
真空度Vacuum level | rough pumping: ≤5 mTorr |
漏率Leak rate | ≤0.5 mTorr/min（Test after 24 hours pump） |
摘要:汽车减震器装配单元是用于
[详细]
摘要:高洁净等级，高速传片，碰
[详细]
摘要:直驱电机结构，全新的IO模
[详细]
摘要:MaskcaseSTK，高洁净度，非
[详细]
摘要:车载电池供电，安全性高、
[详细]
摘要:高洁净等级，高速传片，抗
[详细]
摘要:一体化程度高，自动化程度
[详细]
摘要:直驱电机结构，全新的IO模
[详细]
通道闸 距离传感器 冷光灯 连体防护服 路障机 水系灭火器 4kg干粉灭火器 巡更棒 食堂售饭机 拉力传感器 信号接收器 氧气呼吸器 管道支架 正压氧气呼吸器 管支架 甲级防火门 室内音柱 视频放大器 铜包钢接地棒 停车设备 防爆柜 放热焊接 车载电源 伸缩接头 自动感应门 食堂打卡机 张力传感器 防盗网价格 饭堂售饭机 消防水炮 消防水泡 辐射防护服 高清矩阵 长管呼吸器 二合一防雷器 视频监控系统 话筒报价 监控主机 监控机 智能水表 强光手电筒 交通警示牌 旋转接头 可视门铃 防静电大褂 可视门铃
