真空机械手Titan1500C-智慧城市网

产品详情

Titan1500C作为LED芯片制造领域的真空机械手产品，大负载真空机械手主要用于LED芯片制造过程中，实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传送，具有真空度高，传输效率高，负载能力强，耐高温等特点，大大提高了LED芯片生产制造的良率和效率，是LED芯片制造装备的关键产品。本产品在集成电路制造用真空机械手的基础上，针对其大负载需求，创新了其传输结构和控制规律，使其能够达到12kg的负载能力，同时保持很小的占用体积，保持高耐真空度及洁净等级。

参数：

结构形式Mechanical Structure		柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
驱动方式Driving method		伺服电机Servo Motor
手数量Number of Arm		单臂Single Arm
负载Payload	名称Name	托盘Tray
	直径Diameter	Φ716mm
	重量Weight	≤12kg
自由度数DOF		3
手臂长度Arm Length		355mm
手指长度（安装中心至硅片中心） Finger length(distance from install center to wafer center)		810mm
运动范围 Moving Range	R轴R-axis	≤1500mm
	θ轴θ-axis	无限回转Infinite Rotation
	Z轴Z-axis	150mm
全行程最小时间 Swap time	R轴R-axis	＜27.8s（Home to Extend 1500mm）
	θ轴θ-axis	＜15s(180°)
	Z轴Z-axis	13s（150mm）
重复定位精度Repeatability	R轴R-axis	±0.2mm(3σ)
	θ轴θ-axis	±0.2mm(3σ)
	Z轴Z-axis	±0.2mm(3σ)
最小回转半径Robot Clearance Radius		762.5mm
下垂量Deflection		5mm
真空度 Vacuum level		＜5×10^-9 Torr
漏率Leak Rate		＜1×10^-9 std.cc/sec He
电源Electrical		208VAC(50Hz/60Hz)
电源范围电压波动范围		单相交流208V +10%，-15%
通信接口Communication Network		Ethernet
重量Drive body+arm set weight		195kg
行程		1500mm