接触式位移传感器

一、回弹式（弹簧自复位）位移传感器

采用弹簧自复位驱动方式，内置弹簧弹力可选。具有高性能，高精度，高稳定性等特点。量程1~25mm可选，重复精度高达到0.1 μm，出线方式有直出和侧出等。

二、分体式（带铁芯连杆）位移传感器

采用传感器主体和铁芯连杆分离的方式，驱动机构直接连接铁芯连杆。电感原理，具有高性能，高精度，高稳定性等特点。量程2mm，重复精度高达到0.1μm，出线方式侧出或裸线。

三、真空抽吸式位移传感器

采用真空发生器对传感器腔体抽吸驱动回弹的方式，同时可以当做常规回弹式传感器使用。具有高性能，高精度，高稳定性等特点。量程2~15mm可选，重复精度高达到0.1μm，出线方式侧出。

四、自由跌落超轻接触式位移传感器

采用垂直自由落体驱动，无内置弹簧。具有高性能，高精度 ，高稳定性等特点。量程4mm，重复精度达到0.1μm，出线方式有直出和侧出等。对于对测量力有要求的被测物体，例如玻璃，塑料，薄膜，晶片等等，可以选用超轻接触式位移传感器，避免对被测物体的二次伤损。

五、气动式位移传感器

采用压缩空气充气驱动，泄气自行回弹的方式。具有高性能，高精度，高稳定性等特点。量程2~10mm可选，重复精度达到0.1μm，出线方式有直出和侧出等。对于对测量力有要求的被测物体，例如玻璃，塑料，薄膜，晶片等等，可以选用气动超轻接触式位移传感器，避免对被测物体的二次伤损。