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产品详情

洁净机器人

产品介绍

洁净机器人是一种在洁净环境中使用的工业机器人。随着生产技术水平不断提高，其对生产环境的要求也日益苛刻，很多现代工业产品生产都要求在洁净环境进行，洁净机器人是洁净环境下生产需要的关键设备。

产品特点

□洁净润滑技术：通过采用负压抑尘结构和非挥发性润滑脂，实现对环境无颗粒污染，满足洁净要求。
□高速平稳控制技术：通过轨迹优化和提高关节伺服性能，实现洁净搬运的平稳性。
□控制器的小型化技术：根据洁净室建造和运营成本高，通过控制器小型化技术减小洁净机器人的占用空间。
□晶圆检测技术：通过光学传感器，能够通过机器人的扫描，获得卡匣中晶圆有无缺片、倾斜等信息

技术参数

机器人型号	到达距离	称重能力	防护等级
HD 6640-180	2.55m	180kg	IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级
HD 6640-235	2.55m	235kg	IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级
HD 6640-205	2.75m	205kg	IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级
HD 6640-185	2.8m	185kg	IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级
HD 6640-130	3.2m	130kg	IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级
HD 6640ID-200	2.55m	200kg	IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级
HD 6640ID-170	2.75m	170kg	IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级

轴运动	6640工作范围	6640ID工作范围	速度
轴1旋转	+170° to -170°	+170° to -170°	100- 110
轴2手臂	+85° to -65°	+85° to -65°	90°/s
轴3手臂	+70° to -180°	+70° to -180°	90°/s
轴4手腕	+300° to -300°	+300° to -300°	170- 190°/s
轴5弯曲	+120° to -120°	+100° to -100°	120- 140°/s
轴6翻转	+360° to -360°	+300° to -300°	190- 235°/s