MetOne3411便携式空气颗粒计数器-智慧城市网

产品详情

MetOne3411便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。

MetOne3411便携式空气颗粒计数器具有 ISO 21501 数据的准确性和再现性，是业内推广使用的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。

选择MetOne3411便携式空气颗粒计数器的优势所在

• 可让您的洁净室保持洁净
0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染

• 热插拔电池-***确保仪器长时间连续运行
由于仪器使用的是热插拔电池，故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机

• 测试向导（Test Wizard）能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误

• 顺序采样系统
可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。

• 灵活的通讯方式——设置简单，数据传输方便
供选择的无线，以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统，或者客户已有监控软件，以便减少文书工作

• 直观的用户界面
简便的区域，位置和运行参数的配置和复制，节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中，从而消除参数设置错误，并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划！

• 符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
专用于满足特殊颗粒计数要求，仪器与仪器之间的准确度和再现性符合 ISO21501-4标准要求。

MetOne3411便携式空气颗粒计数器的产品参数

通道个数	6
粒径	0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
光源	氦氖激光器
重量	不含电池：15.9 公斤，电池：0.66 公斤
尺寸	33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (宽 x 长 x 高)
机箱材质	便于清洗的钝化不锈钢
流速	1.0 CFM (28.3 LPM)
零计数	ISO 21501-4 和 JIS B 9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% 置信区间
符合损失	在 50,000 /ft3 时，为5%，符合ISO 21501-4标准
泵的类型	可供连续使用的砖利的多瓣闭路循环控制泵
计数效率	在0.1 µm时为 50%。根据ISO 21501-4和JIS B 9921，粒径大于0.15µm时为 99%
运行温度	10 * 40°C; 相对湿度为10 * 90%，无冷凝
显示	¼ VGA 彩色 TFT 触摸屏
打印机	高速热敏打印机
语言	英语，法语，德语，意大利语，西班牙语，韩语，日语，中文
可以显示的*大数值	9,999,999 displayed
延迟时间	15秒钟*23小时59分59秒
采样/停留时间	1秒钟*23小时59分59秒
计数警报	1~ 9,999,999 个计数值
位置	编号：0 * 999; 名称:文字描述，显示在打印输出资料上
数据存储	5,000 个样品，在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或 Overflow)
输出	USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为 1.1)RS485 配有TCP/IP 通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出 (可选)MET ONE 2432 型顺序采样系统 (警报和扫描探头)
锂电池，可充电、可热插拔	Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
输入	空气速度探头，相对湿度/温度探头
自动 CDA 清洗	连接到CDA之后，清洗电磁阀会被激活
电源	24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 适配器
电池类型	智能锂电池，可充电，可热插拔
电池使用时间	*短 3 小时
电池的充电时间	电池的充电时间
包含电池数量	2组

MetOne3411便携式空气颗粒计数器的随附配件

部件编号	描述
2087966-01	等动力探头1.00 CFM，镀镍铝制3/8“倒钩接头
960380	样品管，内径 3/8” ，长 10英尺
2088035-01	等动力探头适配器，铝制
970650	等动力探头三脚架
230-300-7052	24VDC电源输出
VP623500	电源线：115VAC, 6' L
VP623501	电源线：115VAC, 6' L
2087939-01	零计数过滤器 1CFM
2087090	PortAll 软件,CD
460519	打印纸，2卷
280-120-2024	2组锂电池
210-400-5171	触摸屏手写笔
2088010-01	128M USD闪存驱动
410-150-0011	3针微型接线端子
410-420-0020	接线端子罩壳
490-200-0001	无线天线，附带无线版本P / N 2088800-02

MetOne3411便携式空气颗粒计数器可选配件

部件编号	描述
CAL_GAS_3411	3411型的气体校准，包括氦、氩、二氧化碳和氮气
701241-01	3400系列IQ / OQ 验证文件（CD）
2087966-02	等动力探头1.0 CFM，不锈钢制3/8“倒钩接头
2089406-01	等动力探头支架
460519	打印纸（价格以每卷计）
280-300-5000	智能电源充电器
280-120-2024	智能锂电池
2088928	温度和相对湿度探针VAISALA HMP50
2087939-01	零点计数过滤器（1.0 CFM型）
460-400-4798	电缆，USB2.0 高速，1m
2084045-02	Particle Vision PortAll, 2.0.x版，套件，下载工具软件，适配器和说明书（串行电缆需单独购买）
700011-21	PortAll 许可标准版
2088000-01	过滤器扫描探头（电子式）1 CFM
2088000-02	过滤器扫描探头（无电子式）1 CFM
2088012-02	适配器，USB转RS232，USB线缆
2088012-01	适配器，USB转RS485，USB线缆
2080732-8	高压扩散器，用于 1.0 CFM 设备。

MetOne3411便携式空气颗粒计数器的应用领域

专应用于半导体行业的空气颗粒计数：
• 洁净室验证监测
• 洁净室的分级
• ISO14644洁净室验证
• 洁净室颗粒物监测
• 生产过程的连续监测
• 颗粒污染源的排除过程
• HEPA过滤器检漏，粒径大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
• 过滤器扫描
• 高压气体监测可简单地通过气体选择菜单选择相应气体，流量会自动调整

空气颗粒计数器生命科学标准及委员会：
• 国际标准化组织 (ISO)
• ISO14644洁净室及相关受控环境
• ISO 21501颗粒分布测确定--用于无尘空间的光散射颗粒计数器
• 环境科学与技术研究所 (IEST)