大气机械手

    晶圆搬运系列大气机械手主要应用于半导体加工过程中，是负责大气端不同工位间晶圆传送的关键自动化设备。本系列大气机械手采用轻量、高刚性手臂、高精度、高性能的AC伺服电机和谐波减速器，可实现高速平稳的运行。该机器人满足洁净环境运动件的润滑要求，保证机器人长期平稳运行，并对洁净环境无影响。采用新松公司具有的网络型机器人控制器进行控制，具有结构紧凑、组态灵活和控制性能高的特点，可适应不同的机器人本体，实现机器人控制器之间、机器人控制器同IC 装备之间的通讯，便于组成不同的应用系统。目前新松公司已经具有单臂和双臂两种类型4个型号的，并且可以根据客户的要求进行定制，已有用户应用，并形成了系列化产品满足不同用户的要求。