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基板搬运机器人
净机器人机械结构结合生产工艺的特点，主要分为两大系列，既垂直多关节搬运洁净机器人系列和水平多关节搬运洁净机器人系列。垂直多关节搬运洁净机器人进行全姿态动作运动；水平多关节搬运洁净机器人是水平直线及回转运动型机器人，高速度高精度，动作快捷准确。
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