ND系列-半导体车间硅烷气体泄漏检测

什么是硅烷气体

硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更**的硅氢化合物。目前应用**多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业， 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层， 并且是迄今世界上**的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现, 包括用于制造**陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础。硅烷又以它自带的自燃、爆炸性而著称。硅烷有非常宽的自发着火范围和的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。

主要是针对化工厂、实验室，危化品仓库等有限空间研发检测气体进行优化后的一款专用的在线固定式检测仪。它能将现场检测到的有毒有害气体浓度，转换为对应的标准信号（标准信号种类选择请参考技术参数表），然后将信号传输到 PLC、DCS、报警控制主机等上位机进行统一显示、管理和控制，从而组成功能强大的智能化气体检测报警控制系统。

该设备内置继电器，可控制外围声光报警器、风机、电磁阀等设备。如该设备连入我司服务器，可实现远程设置报警值和远程标定等功能，节省后期维护成本。

广州市诺达电子有限公司以专业、负责的态度致力于为客户提供与环境匹配的检测产品和服务。

检测气体：硅烷

量    程0-10PPM/0-20PPM/0-50PPM

分 辨 率0.01PPM/1PPM

检测原理：电化学原理

精   度≤±3F.S

显示方式320*240 高清彩屏

响应时间T90＜30S

恢复时间≤30S（T90-T10)

使用寿命传感器2-3年

检测方式扩散式

重 复 性≤±1 %F.S

继 电 器容量 220VAC 3A/24VDC 3A  

无线输出（选配）433M（≤无障碍3公里 ） （定制）GPRS（无距离限制） （定制）

WIFI/zigbee/LORA （定制）

有线输出（选配）  485+开关量输出 （标配）4-20mA+RS485+开关量报警输出 （定制）

以上任选一种防护等级  IP66防爆等级

隔爆型：ExdⅡCT6 Gb  

尺    寸205*140*92mm(L×W×H)

探头材质铝合金、不锈钢（可选）

安装方式壁挂式、杆装式、管道式

重    量1KG

工作电压12－35VDC，常用 12VDC、24VDC 电气接口

接线口尺寸：内螺牙 M20*1.5（ G1/2 内螺牙、G3/4 内螺牙、 1/2NPT

标准配件探测器、说明书、红外遥控器、厂家出厂检测报告

选 配 件防爆声光报警、安装支架、管道式安装配件等

工作环境温度：催化燃烧：-40~+70℃；电化学：-20~+50℃；PID：-20~+50℃；红外：-20~+50℃； 荧光法：-20~+50℃； 氧化锆:-40℃~+700℃

压力：86-110Kpa；（氧化锆：≤0.6Mpa)

湿度：15%RH~95%RH（无凝露）产品功耗电化学传感器：P ≤ 1.2W      红外传感器：P ≤ 2.0W

普通催化传感器 ：P ≤ 2.6W   低功耗催化传感器 ：P ≤ 1.5W   热导传感器 ：P ≤ 2.0W

执行标准GB15311.1-2003； GB3836.1-2010； GB3836.2-2010； GB3836.4-2010；