PI高负载物镜扫描仪PIFOC系列

PI高负载物镜扫描仪PIFOC系列

     PI PIFOC系列的压电挠性平台和物镜扫描仪在定位和扫描任务中提供高动态性。用于平行和垂直于光轴的XY试样定位以及物镜Z 聚焦的良好适配解决方案可作为标准产品提供。与控制器和所有必需的连接电缆和软件一起的系统中也可以方便地使用阶段。与所有压电系统一样，显微镜载物台和扫描仪在交付时都经过测量日志预先校准。

用于重型物镜的长行程高动态扫描系统

-大目标的高动态定位和扫描

-谐振频率1120Hz；560Hz，210g物镜质量

-类型步进和稳定约 6 ms

-行程100 µm

-由于直接测量电容式传感器，具有高的线性度、稳定性和控制动态

-分辨率 0.3 纳米

-零间隙、高精度弯曲导向系统，可实现更好的对焦稳定性

带电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。它们保证的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。

自动配置和快速组件更换

机械和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械装置D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

应用领域

-超分辨率显微镜

-光碟显微镜

-共聚焦显微镜

-3D成像

-筛选

-干涉测量法

-测量技术

-自动对焦系统

-生物技术

-半导体测试

PI高负载物镜扫描仪PIFOC系列