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产品详情
气体质量流量控制器-流量控制-模拟量输出气体质量流量控制器
成都维克安科技有限公司
质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点:精度高，重复性好。
流量量程(N2)
2sccm 3sccm 5sccm 10sccm 20sccm 30sccm 50sccm 100sccm 200sccm 300sccm 500sccm 1slm2slm 3slm 5slm 10slm 20slm 30slm 50slm 100slm 150slm 200slm 250slm 300slm 500slm 750slm1000slm 1500slm 2000slm
产品精度
耐压
全部 3MPa 10MPa
输入输出信号
全部 (0~5)VDC (1~5)VDC (0~20)mA (4~20)mA RS-485 DeviceNet Profibus
电源
全部 ±15V 24V ±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
1 | 量程范围 | （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM |
2 | 准确度 | +1.0%F.S |
3 | 线性 | +0.5~1.5%F.S |
4 | 重复精度 | +0.2%F.S |
5 | 响应时间 | 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec |
6 | 工作压差 | （0.1~0.5）MPa |
7 | 耐压 | 3MPa |
8 | 工作环境温度 | 0~70℃ |
9 | 数字量 | RS485 MODBUS协议 |
10 | 模拟量 | DC 0~5V ，4~20mA 可选 |
11 | 供电 | DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 电气连接 | DB15 |
13 | 漏率 | 1×10-8SCCSHe |
14 | 底座材质 | 316L不锈钢 |
15 | 密封材质 | 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶 |
16 | 气路接头 | Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
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